真空泵之離子泵·Noble泵

■概要

在磁場中使冷陰極放電，從而使被電離的氣體分子埋置在陰極，同時將與陰極沖突時的陰極材料（Ti）濺射，連續(xù)制造活性吸氣膜。離子泵·Noble泵· Excel泵是利用上述活動來進(jìn)行排氣的超高真空泵。

因為完全不使用油等有機物,所以能得到完全無油的超高真空。運轉(zhuǎn)只需電力，沒有機械的運動，因此無震動·無噪音。同時，即使是在突然停電或真空泄漏的情況，也不必?fù)?dān)心會污染被排氣體系統(tǒng)，因此在夜間無人操作時也可放心使用。Noble泵·Excel泵是將離子泵所不擅長的非活性氣體的排氣速度進(jìn)行改善后所制造的三極型離子泵，它除了有離子泵的全部特長，與離子泵相比還能進(jìn)行非活性氣體的穩(wěn)定排氣。

另外，Excel泵通過放電條件的*適化，在極高真空領(lǐng)域的放電特性得到改善。