真空閥門的各種結構形式
(1)隔膜閥
隔膜式真空閥是利用閥桿將彈性體薄膜緊壓在閥座上用來隔斷氣路。如圖3所示，轉動手輪可帶動閥桿上、下移動，使隔膜離開閥座打開閥門或使隔膜緊壓在閥座上關閉閥門。此種閥門如采用丁晴橡膠隔膜，適用于前級和預抽管道上及溫度為-25～80℃的非腐蝕性氣體。如采用氟橡膠隔膜，可用于高真空系統，使用溫度范圍為-30～150℃。
(2)真空球閥
圖4所示是真空球閥的結構，該閥中的密封機構是由兩個環狀彈性體緊壓于一個金屬球表面構成。金屬球上有一個大穿孔，借助于手柄轉動金屬球使穿孔改變方向，即可接通或切斷氣路。金屬球軸桿與閥體間的密封采用O形密封圈密封。
(3)真空蝶閥
蝶閥的結構比較簡單，如圖5所示。閥板的邊緣上嵌有O形密封圈，閥板靠螺栓固定在傳動軸閥桿上，使閥桿帶動閥板轉動，當閥板上的密封圈與閥體緊密接觸時即實現了閥門的關閉，從關閉位置、閥板再轉動90O時，閥門即完全打開，該種閥門的主要優點是體積小。結構簡單。
(4)插板閥
圖6和圖7是插板閥的兩種結構型式。彈性體密封圈是嵌在閥體上。轉動手柄即可打開或關閉閥門。圖6的插板閥關閉時是靠限位塊的斜面壓緊閥蓋，進而壓緊密封圈。圖7的插板閥是靠鏈板壓緊實現閥口密封。
(5)擋板閥
圖8是一種擋板閥的結構。該閥通過閥蓋的開啟和壓下來實現管路的接通和截止。圖中，壓板23使閥口密封圈24固定于閥蓋上。壓板2將閥桿3與閥蓋連為一體。上蓋20與閥體22由密封圈21密封。壓帽5和7分別壓緊密封圈4和8，實現動密封。氣缸蓋11壓緊密封圈lO，使氣缸16上部密封。氣缸與氣缸座17，通過密封圈9密封。注油管18注入擴散泵油，以減小摩擦并幫助密封。進氣管接頭12。從空氣壓縮機來壓縮空氣首先通過加油器19，從加油器中出來的氣體含有一定的油，再進入換向閥6，*后進入氣缸，一方面潤滑換向閥中的活塞，另一方面，防止氣缸內表面生銹。換向閥控制氣源進入氣缸上下部。密封墊片13、活塞膠圈14、活塞15，將氣缸分為兩部分移動于氣缸之中，從而控制閥門的開閉。
圖9、10、11是三種，不同結構的真空翻板閥。它們都是用壓縮空氣為動力源。在閥門打開或關閉的過程中，閥板的運動有一個翻轉過程。能翻轉一個角度。在圖10的結構中，靠滾輪將閥蓋擋翻，在這種結構的閥門中，閥蓋不能翻轉90o。圖9的結構，閥蓋的翻轉靠四連桿機構實現，閥蓋能實現90o翻轉。圖11的翻板閥是蚌線機構。這種閥門結構簡單，總高度低，閥板能翻轉90o，是我國1971年開創的。在翻板閥中，閥板翻轉90o時，流導較大。
(7)電磁閥
真空閥門的驅動方式為磁力驅動的即為電磁閥。電磁真空閥的密封機構與擋板閥相同，如圖12所示。平時，電磁閥的閥蓋靠彈簧壓緊封住管路通道，需要開啟時，將電磁線圈接通電流，磁力即吸引銜鐵，帶動閥蓋，將閥門打開。有的電磁真空閥設計成帶充氣的。稱為電磁真空帶充氣閥，是專門安裝在油封式機械泵入口管路上的專用閥門。閥門與泵接在同一電源上，泵的啟動與停止直接控制了閥的開啟與關閉。當泵停止工作或電源突然中斷時，閥能自動將真空管路封閉，并將大氣通過泵的進氣口充入泵腔，避免泵油返流污染真空系統。
(8)針閥
圖13是一個超高真空針閥。針閥是一種微調閥，其閥塞為針形，主要用作調節氣流量。微調閥要求閥口開啟逐漸變大，從關閉到開啟*大能連續細微地調節。針形閥塞即能實現這種功能。針形閥塞一般用經過淬火的鋼制長針，而閥座是用錫、銅等軟質材料制成。閥針與閥座問的密封是依靠其錐面緊密配合達到的。閥針的錐度有1：50和6o錐角兩種，錐表面要經過精細研磨。圖中的閥桿與閥座問的密封是靠波紋管實現的。真空閥門的各種結構形式
(9)超高真空閥
通常的高、低真空閥門，密封墊圈的材料為橡膠，不能承受高溫烘烤。因而不能使用在超高真空設備上。能使用在超高真空設備上的超高真空閥門必須滿足：(1)能承受高溫(400～450℃)多次烘烤；(2)放氣量小，氣密性好；(3)重復性好；(4)流導大。
圖14是超高真空閥門的一種。其主要部件是無氧銅閥蓋，不銹鋼閥體和傳動導向機構。閥座刀口型式為直角，擋板起保證閥門重復性的作用，即刀口在閥蓋上壓出的刀痕每次都能重合。
(10)玻璃真空活塞
玻璃活塞山開有孔的錐形芯子及帶有連接管的外套組成，芯子與外套之間的接觸面是磨光面，其問涂以真空封脂以取得密封。氣體的通路由芯子上的孔和所對準的連接管決定，轉動芯子便可控制氣體通路。因用封脂密封，芯子與外套之間就不會漏氣。
圖15是典型的玻璃真空活塞?；钊雌溥B接管道的數目分為二通、三通或多通活塞。二通又分為對通和直角通。在圖15(b)中，(2)、(3)兩種較(1)的型式密封更好，因在使用中有大氣壓力將錐芯往內壓。
(11)無油玻璃真空閥
為避免真空油脂對真空環境的影響，可以采用液態金屬密封和磨砂口密封。
圖16所示是液態金屬密封的玻璃真空閥之一。當要關閉閥門時，用磁鐵將裝有液態金屬的玻璃杯提起，使上部玻璃管插入液態金屬內，便可阻斷氣路；打開時，用磁鐵將玻璃杯放下。液態金屬一般使用鎵銦錫合金，當鎵銦錫比例為62.5％、21.5％、16％時，其熔點只有10.7℃，在室溫下為液態，它的飽和蒸氣壓很低，甚至在500℃時仍低于10-6Pa。
圖17所示是玻璃磨口密封的無油真空閥，其密封是由一半球狀玻璃閥體與一半球狀閥座之間的精密磨光面接觸來實現的。閥門的開啟和關閉仍由磁鐵從外部操縱。因是半球狀接觸，接觸面積足夠大，所以能保證良好密封。
以上兩種玻璃真空閥均可應用于超高真空系統中，但兩側不能承受大的壓強差，只能應用在兩側壓強相近(相差200～400Pa以內)的場合。
玻璃真空閥只能做成小型的，大口徑的閥門必須用金屬制造。 真空閥門的各種結構形式